金刚石砂轮的性能改观对于蓝宝石磨削技术的积极影响

　　为了改观金刚石砂轮的性能及磨削后蓝宝石的表面质量，国内外学者对蓝宝石磨削过程及砂轮的性能做了很多研究。对于树脂金刚石砂轮的研发及性能的提高，国内外的研究主要集中在超硬磨料的处理、树脂改性、性能对比以及磨削机理等学术研究领域。蓝宝石具有优良的物理性能、光学性能、电学性能和力学性能，广泛应用于窗口、照明和半导体衬底等领域。

　　同时作为氮化镓外延生长的衬底材料，在完成电极制备工艺后，需要对蓝宝石衬底进行背面减薄，以提高器件的散热性能，磨削技术在快速减薄中具有去除速率高及可控性好等优势。蓝宝石快速减薄磨削主要使用金刚石砂轮，其中树脂结合剂金刚石砂轮因其原料来源丰富、成型简单、自锐性好、效率高、成本低等优点在金属、树脂、陶瓷3大种类砂轮中占百分之60~百分之70份额。砂轮的性能一定程度上决定了蓝宝石减薄磨削中的磨削效率及磨削后蓝宝石表面质量，而砂轮的磨损形式及砂轮的磨损过程决定磨削过程的稳定性。

　　树脂结合剂砂轮蓝宝石表面质量优于金属结合剂砂轮加工的表面质量，且磨削速度为10.5 m/s时更易获得质量较高的磨削表面。Zhiqiang Liang和Dongxi Lv等研究了树脂结合剂金刚石砂轮在单晶蓝宝石超声辅助磨削（EUAG）中的磨损机理。关昂通过制作MgO、Fe2O3软磨料树脂结合剂砂轮，使磨削后蓝宝石可以获得更加低的表面粗糙度且没有裂纹、崩边以及磨痕现象。但是，缺乏以蓝宝石为磨削对象的树脂金刚石砂轮的磨损机理、磨损过程以及对蓝宝石表面质量的影响的相关研究。